[´ë±¸/ÀÌ¿µÁØ ±âÀÚ] °æºÏ´ë ±Ý¼ÓÀç·á°øÇаú ¹Ú±ÍÀÏ ±³¼öÆÀÀÌ ÇöóÁ ó¸® ±â¼úÀ» µµÀÔÇØ ±âÁ¸ ¿­Ã³¸® °øÁ¤º¸´Ù °øÁ¤ ½Ã°£À» 12¹è ´ÜÃàÇÑ °í¼º´É ¾ÐÀü¼ÒÀÚ¸¦ °³¹ßÇß´Ù. ÀüÅëÀûÀ¸·Î Ç÷º¼­ºí ¾ÐÀü¼ÒÀÚ Á¦ÀÛÇÒ ¶§ ¿­Ã³¸® °øÁ¤Àº ÇʼöÀûÀÌ´Ù. ¿­Ã³¸® °øÁ¤Àº ¾ÐÀü Àç·áÀÇ °áÁ¤È­µµ¿Í ¼º´É Çâ»ó¿¡ È¿°úÀûÀÌÁö¸¸, °øÁ¤ ½Ã°£ÀÌ ±æ°í Àç·á ¼Õ»ó °¡´É¼ºÀÌ ´ÜÁ¡À¸·Î ÁöÀûµÈ´Ù. ¹Ú±ÍÀÏ ±³¼öÆÀÀº ÇöóÁ ó¸®(Plasma annealing, PA) ±â¼úÀ» µµÀÔÇØ ±âÁ¸ ¿­Ã³¸® °øÁ¤º¸´Ù ª¡¦
[´ë±¸/ÀÌ¿µÁØ ±âÀÚ] ´ë±¸½Ã±³À°Ã»Àº 7ÀϺÎÅÍ 9ÀϱîÁö Á¦ÁÖµµ¿¡¼­ °³ÃֵǴ¡®Á¦14ȸ Àü±¹»ó¾÷°æÁø´ëȸ¡¯¿¡ »ó¾÷°è°í 99¸íÀÇ ÇлýÀÌ ´ë±¸ ´ëÇ¥·Î Âü°¡ÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù. »ó¾÷°è Ư¼ºÈ­°í ÇлýµéÀÌ °¢ÀÚÀÇ Àü°ø ºÐ¾ß Á÷¹«´É·ÂÀ» Å°¿ï ¼ö ÀÖµµ·Ï Áö¿øÇϱâ À§ÇØ ¸¶·ÃµÈ À̹ø ´ëȸ´Â ±³À°ºÎ°¡ ÁÖÃÖÇÏ°í 17°³ ½Ã․µµ±³À°Ã»ÀÌ °øµ¿À¸·Î ÁÖ°üÇϸç, ¿ÃÇØ´Â ¡ãȸ°è½Ç¹« µî °æÁø ºÐ¾ß 11°³ Á¾¸ñ°ú ¡ãâ¾÷µ¿¾Æ¸®¿¢½ºÆ÷ µî °æ¿¬ ºÐ¾ß 4°³ Á¾¸ñ¿¡ ÃÑ 1,540¸íÀÇ ÇлýµéÀÌ °¢ ½Ã¡¤µµ¸¦ ¡¦